FEI Company, společnost zabývající se vývojem a výrobou elektronových mikroskopů byla založena v roce 1971. V současnosti jde o vedoucího dodavatele elektronově a iontově optických zařízení pro širokou škálu výzkumníků, vývojářů i výrobců pracujících v nanometrech. Nástroje vyráběné FEI umožňují za pomoci elektronů a iontů analyzovat a manipulovat s částmi hmoty menšími, než vlnová délka světla (na úrovni velikosti atomů), poskytují 3D obraz a automatizují manipulaci se vzorkem. O své práci s námi hovořil Ing. Martin Pěršala, manažer servisní podpory FEI Company.
Ing. Martin Pěršala, TSG manager FEI Company
Před osmi lety vystudoval Biomedicínské inženýrství a Sdělovací techniku na VUT. Ještě jako studující strávil několik měsíců v Lotyšsku. Ve společnosti FEI Company od počátku pracuje jako inženýr pro podporu servisní organizace. V současné době má na starosti celý asijský region, jeho hlavní působiště je Korea.
T+T: Jako zástupce FEI Company pracujete pro Samsung, jaká je vaše pracovní náplň?
Samsung je jedním z našich hlavních odběratelů, proto žiji a pracuji převážně v Koreji. Abychom mohli pružně reagovat na požadavky trhu, lokalizovali jsme technickou asistenci přímo v místě jeho výrobních a vývojových závodů. Pomáhám servisním inženýrům a spolu s naší centrálou řeším složitější servisní zásahy. Stejně tak ale může být náplní mé práce i politická schůzka, kde jako zástupce evropské společnosti mohu nabídnout jiný úhel pohledu. Může jít i o aplikační nebo softwarové záležitosti. Pro FEI Company je nesmírně důležité mít okamžitou zpětnou vazbu od uživatelů. Přese mne tak jdou informace přímo od zákazníků okamžitě do našich výrobních nebo vývojových center v Brně, v Holandsku nebo v USA.
Kromě firmy Samsung pracuji i pro naše další zákazníky na asijském kontinentu, jakým je například Tchajwanská firma TSMC, největší světový nezávislý výrobce polovodičových disků. Často teď bývám také v Číně, kde se díky rozvíjejícímu průmyslu nabízí pro naši firmu široké uplatnění.
T+T: Jste jediným dodavatelem Samsungu?
V segmentu našich elektronových mikroskopů vyšší třídy pro analýzu vad v polovodičových materiálech jsme jediným dodavatelem. Konkrétně jde o skenovací mikroskopy k lokalizaci defektu v materiálu a transmisní mikroskopy pro zkoumání struktury tohoto defektu.
Obecně je rozvoj technologií skutečně velmi dynamicky, stejně tak se musí vyvíjet i elektronová mikroskopie, aby stíhala rostoucí nároky výrobců. Musíme rychle doplňovat požadované vlastnosti našich produktů, abychom se udrželi krok před konkurencí. Inovace jsou pro nás velká výzva a prostor k růstu.
T+T: Musíte být jako servisní pracovník dostupný nepřetržitě?
V rámci zajištění servisu máme pro různé případy sjednanou reakční dobu, za jak dlouho musíme být na místě. Pracovní dobu mi v podstatě určuje zákazník a tak není výjimkou, že odpovídám na žádosti o radu například o půlnoci. Dlouhodobější záležitosti diskutujeme prostřednictvím telekonferencí s kolegy na centrále, je třeba vzít v úvahu, že v Koreji máme o 7–8 hodin více než v Evropě, takže když potřebuji něco řešit, musím počkat a v odpoledních hodinách mohu kontaktovat ranní kolegy v Brně. Celkem v Brně máme asi 25 pracovníků pro technickou podporu mikroskopů.
T+T: Můžete podrobně popsat, jak vaše mikroskopy pracují?
Naše skenovací mikroskopy jsou v tržním segmentu elektroniky používány pro analýzu vad v polovodičových strukturách. Fungují paralelně s výrobním a vývojovým procesem a není výjimkou, že pracují nepřetržitě 24 hodin denně celý rok. Během výroby může docházet ke kvalitativním výchylkám, kdy se na výstupu detekuje defekt v určitém rozsahu. Předmětem zkoumání pak může být materiál například o rozměru 1×1 mm – například křemíková plocha, která ve výrobě slouží jako nosný materiál pro leptání nebo depozici vodivých vrstev. Tento malý kus destičky se jednoduchým úkonem přenese do našeho systému, kde uvnitř běží vakuum a kde probíhá elektronová vizualizace.
Po nalezení defektu můžeme zobrazení přiblížit a vyřezat lamelu, kterou budeme dále důkladněji zkoumat. Tloušťka lamely může být různá, ale dnes se již pohybujeme běžně v řádu nanometrů. Jakmile je vzorek připraven, přeneseme jej opět loadovacím mechanizmem do transmisního mikroskopu, kde s ním dál pracujeme. Díky našim systémům jsme schopni tuto práci provést během jedné hodiny.
T+T: Čím vším jsou vaše mikroskopy vybavené? Mluvil jste například o loadovacím zařízení...
Snažíme se optimalizovat systém, aby byl skutečně přizpůsoben pro aplikace, ke kterým je určen. Každý kus je v podstatě originál, nakonfigurovaný podle konkrétních potřeb zákazníka. Obecně má mikroskop jeden hlavní tubus, který slouží k vizualizaci ve velkém zvětšení (SEMový tubus), je to tryska, která produkuje soustavný proud elektronů. Vedle toho máme u některých typů zdroj iontového paprsku, který generuje proud iontů, ten používáme na odřezávání či opracování materiálu, ale i depozici. S pomocí GIS (gun injection system), dokážeme do prostředí nad vzorek vnášet určitý plyn, který potom ionty nebo i elektrony nanášíme na vrstvu, a tím ji můžeme čistit a opracovávat, jak je potřeba. Stejným způsobem provádíme markování vzorku – například křížkem. Automatická aplikace dokáže následně tyto markery vyhledávat a dále se vzorkem automaticky pracovat. Co se týče zobrazovacích metod, můžeme pomocí dvou tubusů vzorek natáčet a vytvořit 3D rekonstrukci, což umožňuje lepší možnosti zkoumání.
Uživatelské rozhraní mikroskopu je jednoduché a od vložení vzorku již vše ovládáme počítačem. Operátoři potřebují vědět, jak vypadá finální produkt a znát kroky, které je k němu dovedou. Nepotřebují přesně znát, jaká technologie se skrývá za tím, co žene systém. Uživatelsky přátelské rozhraní je výhoda našich zařízení.
T+T: Zdá se, že se všechna elektronická zařízení čím dál více miniaturizují, má smysl v tomto směru ještě pokračovat?
Já se domnívám, že je lépe mluvit o integraci. V běžném mobilním telefonu zabírá baterie třetinu celého výrobku, to znamená, že integrace více funkcí do menšího množství menších součástek je velice důležitá. Souběžně s tím jde i úspora materiálu, například drahých kovů. Časem možná bude problém najít hranici miniaturizace, aby se zachovala reálná použitelnost výrobků, ale to už je věc designérů konkrétních výrobků. Technologicky má zmenšování a integrace funkcí stále cestu otevřenou.
T+T: Jaké v Koreji vnímáte kulturní odlišnosti?
Korejci jsou velmi pracovně a zákaznicky orientovaní. Často jdou stranou rodinné zájmy, aby vám mohli vyjít vstříc. Evropan to může vnímat jako zvláštní, ale pro Korejce není práce pouze zdrojem obživy, ale skutečně mu dává pocit naplnění a osobního štěstí.
T+T: Děkuji za rozhovor
